该事例存在西北省市一所特大型半导体器件营造企业的公司,主要的研发一体化集成运放IC芯片。在研发时中,晶圆除垢、蚀刻等工步需食用大批量网络级磷酸(饱和度≥85%),因而制造高氨水浓度含磷废液。企业的公司原来的处里配制未能满足需要亟须要严的排放规范标准规范标准(TP≤0.5mg/L),紧缺版本升级整改。
废水处理工艺因素及源
工业电镀废水处理方法处理主要的来自于六个各个环节:晶圆擦拭工业电镀废水处理方法处理(占总水流量60%)、设施情况呢工业电镀废水处理方法处理(30%)或者地表情况呢工业电镀废水处理方法处理(10%)。水质标准本质特征特征为:pH值1.5-2.5,总磷质量浓度800-1200mg/L,氟阴阳离子纯度50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并具有氢化物发生器天价属(铜、锌等)。
正确处理工艺设备流程图
创业项目利用"预治理 +催化悠长岁月中+二级被氧化+广度过滤装置"的组合名字生产工艺:
转换池
:均衡性水源水流量,现有pH在线上监测操作系统操作系统
4级化学反应池
:加药系统生石灰粉乳转换pH至8.5-9.0,形成了Ca3(PO4)2凝固
二级考试发生反应池
:生成PAC和PAM精炼斜板沉淀池作用
斜板结晶池
:保持固液破乳,厌氧颗粒污泥进去脱水过滤系统
Fenton阳极氧化模块
:H2O2与Fe²⁺融合功用降解塑料充分物
多有机溶剂过滤板器
:石英砂砂+灵活性炭纤维组合起来筛选,为了保证满水后清辙
化合物相互交换设备
:进一点剔除残渣重金属化合物
终究治疗效果
模式正常运作稳固后,出液土质:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阴离子≤5mg/L,每项因素不同于《电子厂制造业水的有害物质的进行排放规范》(GB 39731-2020)。每次极大减少磷的进行排放约15吨,污泥干化产生量较传统化加工过程有效降低40%,正常运作料工费调控在8.两元/吨水。