该厂为85英寸晶圆生产销售线配套方案的超超纯水控制系统,每日产生了含硅废水处置方法150吨。废水处置方法中虽无高价属,但硅含量的高易结渣,且电阻功率率需做到18MΩ·cm这样才能回收。原先处置的工艺是没办法实现新实行的《电子元器件重工业水污染破坏物摆放原则》(GB39731-2020)特点摆放允许值。
污废水 含量优势特点
最主要破坏物
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(比表面积0.1-1μm)
非常规规定
:TOC<10μg/L,硼硫含量<5μg/L
饮用水质性能
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物价值形式非常复杂
处置施工工艺步骤流程
转型升级应用"梯级膜隔离+电去阳离子"组成制作工艺:
微滤预正确处理
:1μm卫浴陶瓷膜手机拦截大颗粒剂硅,通量长期保持80LMH
阳离子互相交换硅胶粘合剂
:D201大孔硅胶粘合剂进行性吸硅酸碳原子
特殊RO体统
:最段出售率60%,第二点段所采用高脱硼膜元器件封装
EDI电去阴离子
:功率强度2A/m²,持继清理残留亚铁离子
分光光度计杀菌的
:254nmUV太阳中的紫外线线用药量40mJ/cm²
枝术突出
设计专业阻硅剂(充分胺类黏结物),延长时间膜污染源周期公式3倍
EDI信息模块自主创新流道设计构思,硅洗去率上升至99.8%
同屏在线硅数据测试仪(预估范围内0.1-500μg/L)满足深度贫困调控
进行阶段性成果
经第二方验测:
总硅从280mg/L降到0.05mg/L
硼分子量从8μg/L降落到0.3μg/L
系统软件回收处理率从原40%大幅提升至68%
膜换洗阶段延迟至5年,年程序运行投入较低35%