某半导体集成ic集成ic研制厂在晶圆制作过程中中，便用硅烷做硅本质的生长，尾气排放洗滌塔产生了高盐浓度含硅污废水正确处理 。污废水正确处理 具pH震荡大（2-11）、硅占比高的优点和缺点，传统型正确处理方式易经常出现硅垢赌塞毛病。 废渣含量及种类 废水处理方法大部分组成为： 降解性硅酸盐 ：SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L 盐酸/氢脱色钠 ：洗條塔强酸强碱洗條液使用量 颗粒状硅 ：奈米级SiO₂电解质溶液 痕量砷 ：原石杂物携带 工作生产工艺方法 特色化用到"有级采和+膜过滤水+汽化成果"流程： 6级中合 ：用CaO调整pH至4-5，绘制硅酸钙沉积，硅清理率60%。 二次结合 ：加Na₂CO₃将pH加快至9，进步放置剩于硅，串联用镁剂除砷。 反渗透膜系统软件 ：0.02μm瓷器膜筛选纳米技术级硅粒状，通量平衡在80LMH。 MVR多效冷却器 ：精提高盐生活污水，成果出Na₂SO₄副的产品，水中水回用率超90%。 进而的效果 总硅从1500mg/L调至5mg/L一下 砷含铁从0.8mg/L减至0.01mg/L 系统性无积灰正常运行以上2年 每月收废磷酸钠尖晶石约800吨