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半导体厂含砷废水处理案例

杭州某半导体材料单位低氧浓度含砷焦化废水外理工程(亚铁离子传递厚度除砷的工艺) 一、顶目的背景 苏州市某半导体芯片工业企业公司专业专注砷化镓晶片割孔、蚀刻与研磨抛光加工工作,生育工作中存在低氧浓度含砷清洁废气,日外理量 120m³(5m³/h)。城市污水水环境:总砷 0.4-0.6mg/L(的平均 0.5mg/L)、pH 6.5-7.5、浮窗物 50-80mg/L、含轻微氟阴阳离子与聚磷酸盐。市场排放出准则规范(GB 39731-2020)总砷卫生防护距离 0.5mg/L,工业企业公司内控准则规范≤0.01mg/L,传统与现代化学沉淀自己法溢水下降大、得以增强达到标准,且厌氧颗粒活性污泥收获量高,需发掘高的精密度、低厌氧颗粒活性污泥的外工院艺。 二、的工艺进行与结构设计 经小试相比普通机械装备结晶、活性酶炭吸附性、铝阴阳离子互换等加工制作加工 ,决定采取机械装备吸附性 + 活性酶炭活性酶炭吸附性 + Tulsimer A-62MP 特别铝阴阳离子互换树酯组合式加工制作加工 ,核心内容胜机为正确处理精准度高、正常运作稳固、工业废水量特少、自功化程度高。 自动化设备脱水水单元测试:主要包括石英晶体砂脱水水器,去掉废自来水中飘浮物、氢氧化铁粒子及那部分大碳原子卤素元素物,取水水压 0.2-0.3MPa,脱水水空气流速 8m/h,虚报冒领粒度≥20μm,以免杂物堵塞了后期的树脂胶胶,降低树脂胶胶污染破坏效率。 抗逆性炭吸咐单园:配用柱形椰壳抗逆性炭(碘值≥1000mg/g),吸咐一般的水都轻微有机酸物、余氯及方面砷的络合形状,进每一步自净生活饮用水,呵护阴离子变换树酯,吸咐学习耗时 30min,抗逆性炭注射量 1.2m³,每 3 十一个月降解多次。 阳硝酸根化合物变换模快:主导为 Tulsimer A-62MP 大孔酸性性阴阳硝酸根化合物变换聚酯聚酯聚酯光敏不饱和树脂,该聚酯聚酯聚酯光敏不饱和树脂对砷酸根(AsO₄³⁻)、亚砷酸根(AsO₂⁻)具备着高会保护性活性炭吸附实力,易受传统阴阳硝酸根化合物(Cl⁻、SO₄²⁻)干预。聚酯聚酯聚酯光敏不饱和树脂选中量 2.5m³,变换柱厚度 1.2m、较高 2.4m,水利停歇准确时间段 15min,程序运行空气流速 5m/h;聚酯聚酯聚酯光敏不饱和树脂达到饱和状态后用 4% NaOH 稀硫酸回收能力,回收能力液需求量为聚酯聚酯聚酯光敏不饱和树脂面积的 2 倍,回收能力准确时间段 4h,回收能力后用江水消毒至中性粒细胞,循环法用,回收能力期约 7 天。 三、简要加载步骤流程 废渣征集:生产的含砷废渣经管网工程汇到设定器池,均质均量,设定器池更有效水比热容 50m³,停時间 10h,池内放置爆气攪拌安全装置,阻止悬浮物物放置,比较稳定水进土质容量。 自动化设备滤出:改善池废气经泵加快至石英砂砂滤出器,洗去悬屏物物后,喷水悬屏物物≤5mg/L,自流灌溉开启活性氧炭物理吸附罐。 活力炭吸附性:污废水 与活力炭充分的遇到,剔除有机酸物与残渣后,溢水入驻阴阳离子交互柱,实现深度.除砷。 铁阴阳离子交換除砷:污废水 遵循原则流过硅胶粘合剂胶层,砷酸根、亚砷酸根与硅胶粘合剂胶上 Cl⁻形成交換想法,砷铁阴阳离子被硅胶粘合剂胶吸咐,水流总砷≤0.01mg/L,达到后造纸废水处理至生产制造工步或产生。 光敏树脂胶胶材料恢复利用:当有水出砷含量>0.008mg/L 时,开始恢复利用程度:先反洗(青水自下而上清洁光敏树脂胶胶材料层,避开外壁残渣,反洗流动速度 10m/h,時间 15min)→恢复利用(4% NaOH 水溶液遵循原则流过光敏树脂胶胶材料层,洗刷过滤的砷铝离子,恢复利用流动速度 2m/h)→正洗(青水遵循原则清洁光敏树脂胶胶材料,避开留恢复利用液,正洗流动速度 5m/h,時间 30min)→后备电源,恢复利用废弃物搜集后集中化治理,防止重新污染破坏。 四、正常运行的效果与数据源定量分析 产品多次加载 12 三个月,多种要求稳定性高合格,管理的本质信息方式: 进水的总砷:0.4-0.6mg/L(分別 0.5mg/L); 有水出总砷:0.003-0.008mg/L(均 0.005mg/L),删去率≥99%; 出水出水 pH:6.8-7.2,按照使用规范; 光敏树脂净化周期公式:7±1 天,净化液砷浓硫酸浓度约 15-20mg/L,净化残液经化学上石雕文化沉淀加工处理后考核标准污染物; 活性活性污泥年产量:仅为过去的化学沉积法的 5%,大幅度避免活性活性污泥治理成本低。 五、总成本与经济收益解析 投入资金:总投入 180 万块人民币,其中的机械设备费 120 万块人民币(过滤器罐、吸附性罐、阴阳离子相互交换柱、泵、电气体统等)、装置费 30 万块人民币、调校举例说明他价格 30 万块人民币。 行驶总成本:约 2.8 元 /m³,涵盖环氧环氧树脂耗损(0.5 元 /m³,环氧环氧树脂在使用耐用性 3-5 年)、药物制剂费(0.8 元 /m³,NaOH、酸洗等)、水电费(0.6 元 /m³)、人工服务及维修费(0.9 元 /m³)。 经济发展:溢水比较稳定达到内控标淮,以免 节能减排超标准危害性;操作后废水处理工艺中水回用率达 80%,年省下自来水管服务费约 40 余上万块;厌氧颗粒污泥处理减轻药量 95%,年变少厌氧颗粒污泥处理正确处理服务费约 25 余上万块,全方位的年净盈利约 60 余上万块,融资利用期 3 年。 六、例个人总结 本楼盘专门针对半导体设备酸度低值含砷生产工业废水治疗 “酸度低值、高可靠性强,精密度特殊要求、水质量有难度” 结构特征,主要采用正离子互转组合构成加工鑫霖环保设计,顺利完成解決常用加工鑫霖环保设计留水浮动、厌氧颗粒污泥治疗量大的难点。加工鑫霖环保设计系统机械自动化能力高,实际操作简单,正常运行稳固,除砷郊果成绩突出,留水总砷稳固≤0.01mg/L,一并做到生产工业废水治疗使用与厌氧颗粒污泥治疗减量化,还具有环境国家经济收益与国家经济国家经济收益,为光电子产业领域酸度低值含砷生产工业废水治疗深度.治疗出具可读取的技術细则。

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