半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
新项目大环境
该产业链园集结了十余家光电器件相关的工业行业,来设计日治理作用5000吨,须得治理来自于与众不同工业行业的混合型喂养工业污废水 。因此各工业行业制作新工艺异同大,工业污废水 有效成分繁多善变,治理的难度较高。
生产废水的成分及原因
生产生活污水最主要的例如几大类:高浓硫酸浓度值有机会肥料生产生活污水(光刻胶、显影液液等)、含氟生产生活污水(刻蚀工艺技术)和酸碱性生产生活污水(难以清理工艺技术)。特异营养成分例如异丙醇、四甲基氢防氧化铵等难化学降解有机会肥料物,甚至氟化物、氟化物等有机物影响物。生产生活污水COD起伏大(500-3000mg/L),氟化物浓硫酸浓度值100-500mg/L,氟化物50-150mg/L。
解决加工环节
采取"分类管理收藏+分质办理+聚集深层次办理"的的创新基本模式:
中小型企业内外部分类整理预解决:含氟焦化废水直接收藏并预解决
该项目管道分类管理传输整体
综合评估调准池匀衡土质
二级水泥混凝土奠定的还原漂浮物和悬浊液
科学规范海洋生物不起作用器(HBR)处置有机酸废弃物物
臭氧的危害崔化钝化降解塑料难分解掉设计物
反参透系统软件采取脱盐处里
太阳光的太阳极为线太阳极为灯消毒以保证冒水安全性高
尤为放置了在线平台监控设计和设计自动投药设计,对待水源波动性。
进而效用
体系运转六年来,处置作用稳定靠得住靠得住。出液COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,挥发酚<5mg/L,总氮<15mg/L,不低于地面水Ⅳ类标准单位,一部分工业废水处理于该项目园林养护及急冷塔补充水分,工业废水处理率不低于30%。每次削减鲜活水使用的约30万吨,为该项目企业的控制成本水电费数百人万美元。